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Coxem SPT-20离子溅射仪
该产品自动真空控制,条件设置简单,可以实现快速抽真空(<2min),对样品进行镀膜处理,完成镀膜后可以自动卸载真空。同时,样品高度的调节也十分方便。
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     品 牌:Coxem

     型号:SPT-20

     该产品自动真空控制,条件设置简单,可以实现快速抽真空(<2min),对样品进行镀膜处理,完成镀膜后可以自动卸载真空。同时,样品高度的调节也十分方便。


产品参数

     技术指标:

     1、电源:AC 220V,500W

     2、重量:10kg

     3、尺寸:420(W)x220(D)x230(H)mm

     4、机械泵:50L/min(60Hz),AC 220V,150W,14.5kg

     5、靶的尺寸:直径50.8mm

     6、真空度:约0.1torr

     7、zui 大低电压:~3kv

     离子流控制范围:1~9mA


     特点:

     1全自动数字离子溅射镀膜机

     2 可一键进行离溅射镀膜,完成镀膜后可自动卸载真空

     3具有涂层电流反馈功能的稳定涂层

     4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各种金属靶

     5采用低噪音旋转泵

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