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SEM-CL

 

阴极荧光光谱(cathodoluminescence spectroscopy)简称CL谱,是指利用电子束激发半导体,将价带电子激发到导带并在价带留下空穴,而后由于导带能量高不稳定,被激发电子又重新跃迁回价带与空穴复合,并释放出能量E≤Eg(能隙)的特征荧光谱。

例1:石英晶体CL像

 

 

例2:CL在半导体中的应用

 

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